2019年7月31日，市科委科學儀器方法研究科研項目《掃描電子顯（xiǎn）微鏡及（jí）能（néng）譜儀無損檢測微（wēi）納米尺度金屬鍍層厚度（dù）共享配套操作方（fāng）法與應用研（yán）究（jiū）》（項目編號16142202500）驗收會議在（zài）我院（yuàn）召開。與會專家聽（tīng）取了項目組的匯報，審（shěn）閱了項目組提供的（de）驗收資料，經質詢和討論，專家組認為該項目組完成了項目任務書規定的研（yán）究內容，達到（dào）了考核（hé）指標，一致同意項目通過驗收。

該項目以微納米尺度金（Au）鍍（dù）層和銠（lǎo）（Rh）鍍層材料（liào）為對象，利用掃描電鏡及能譜（pǔ）儀和蒙特卡洛模擬，建立了能譜法測試結果與（yǔ）元素特征X射線深度分布曲線之間的關係。鍍層厚度能譜法檢測結果與掃描電鏡法測（cè）量結（jié）果的（de）誤差不大於±10%，並提供了（le）常見貴金屬鍍層厚度分析範（fàn）圍。本項目製定（dìng）的掃描電子顯微鏡及能譜儀無損檢測微納米尺度金屬鍍層厚（hòu）度共（gòng）享配套操作（zuò）方法避免了傳統微納米金屬尺度鍍層厚度（dù）測試（shì）的弊端，可以（yǐ）快速、準（zhǔn）確、無損地進（jìn）行貴金屬鍍層厚度分析，為我國集成電路、貴金屬（shǔ）飾品等產業（yè）的發（fā）展提供（gòng）技（jì）術依據。

經中國科學院上海科技查新谘詢中心（xīn）檢索，該項目具有新穎性，綜合技術達到國際先進水平。