世界首個集材料生長（zhǎng）、器件製備、測試分析為一體的納米領域（yù）大科學裝置??納米真空互（hù）聯（lián）綜合實驗站正在我國江蘇蘇（sū）州（zhōu）工業園區建設。這個（gè）實驗站相當於在太空建設了一個全真（zhēn）空的納（nà）米器件研發平台。

    正在建設中的這個納米實驗站是目前世界上最大的真空互聯科研（yán）裝置。其總體（tǐ）方案是：用總長近500米的（de）超高真空管道，將上百台用於（yú）材料生長、器件製備、測試分析的（de）大型儀器（qì）設備互聯，實現樣品在（zài）不同設（shè）備之間傳送（sòng）時其表麵不被氧化、沾汙，不被外界大氣（qì）環境所破壞（huài）。中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員、納米真空互（hù）聯實驗站常務副總指揮丁孫安說，實驗站通過（guò）超（chāo）高空間分（fèn）辨、時間分辨、能量分辨、質（zhì）量分辨等的高端能力儀器（qì）設備（bèi），對物質的“本征性質”進行研究，從而實現量子材料的設計、製備和表征，後摩爾時代器件加工和測試分析，同時開展新（xīn）材料、新工藝、新結構和新功能的開發和研究，以及形成第三代半導體（tǐ）工藝包。

    “這個實驗裝置是在類似太空（kōng）的全真空環境下的納米器（qì）件研發平台，相（xiàng）當於把現有的加工設備統一搬到太空。”丁孫安說。

    納米真（zhēn）空（kōng）互聯實驗站是依托（tuō）中科院蘇州納米所，聯合清華大學薛其坤（kūn）院士團隊、中科院大連化學物理（lǐ）研究所包信和院士團隊建設的。一期建設由中科院、江蘇省、蘇州市和蘇州（zhōu）工業園區共建（jiàn），預計2018年建成，建設（shè）經費（fèi）3.2億（yì）元。一期建成後將連接30多台設備，形成100米的真空管道。整個實驗站的總（zǒng）預算是15億元。

    蘇州工業（yè）園區是全球納米領域（yù）具（jù）有代（dài）表性的八大產業區域之一。中科（kē）院納米所所長楊輝說，在此建設納米真（zhēn）空互聯實驗站（zhàn），是力圖通（tōng）過（guò）真空條件下的互（hù）聯集成（chéng）和若幹重大項目驗證，突破現有儀器設備的功能限製，實現材料製備、測試分析與微納加工工藝等方麵（miàn）協同效應，為科研（yán）和戰（zhàn）略性新興（xìng）產業發展提供先進的、開放性的平台。