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平板顯示測試新技術各有所長 (2005-05-18)

發布時間:2007-12-04 作者(zhě): 來源: 瀏覽:863
對平板顯示(FPD)的主動元件進行特征(zhēng)分析類似於半導體集成電路的測試。然而,為了能夠最(zuì)優化地提高LCD、OLED和LEP測試的速度和精度,需要對現有的參數測試係(xì)統、連接電纜和測試方法(fǎ)進(jìn)行(háng)適當修改。 無序列矽(guī)LCD測試 應(yīng)解決超低電流測量問題 無序列矽(a-si),主動矩陣液晶二極管(AMLCD)的傳統技術,它仍然主導著一些市場,比如移動電話、桌麵顯示(shì)器以及大部分的TV。盡(jìn)管a-si薄膜(mó)晶體管(TFT)比新一代的低溫矽(guī)聚合物(LTPs)LCD的(de)速度更小,體積更大,需要更多的外部電路,現(xiàn)在在其第五代和第六代產品中,使(shǐ)用a-si基底(dǐ)技術來製造更大的顯(xiǎn)示(shì)器,製造商們仍在(zài)努力尋(xún)求減少成本的方法。 成本是主要考慮的因素,所以產品測試時間必須減到最少,一般地在產品階段需要測試的參數是:Id-Vg曲線掃描、開啟電壓Vth、正向電(diàn)流、漏電流IL、開關(guān)(響(xiǎng)應)時間、觸點阻抗和電容。 這些測量是在(zài)LCD平板的外邊緣周(zhōu)圍數個(gè)測試(shì)元素組(TEGs)上進(jìn)行的。有時,也測(cè)量一些(xiē)工作(zuò)像素以(yǐ)檢查In-dium/Tin氧化物(ITO)導電層的特(tè)性。 典型的係統包括確認FPD中的主動元(yuán)件(jiàn)部分(fèn)特(tè)性,它包括DC源測量單元(源表)、開關矩陣(可以使用一套(tào)設備測(cè)試多個器件)、探針台和電纜連接。由於平板的巨大尺寸,FPD產品測試設備(bèi)也是相當(dāng)大的,並且是高度自動化的。 LCD-TFT的參數特性(xìng)要求能夠對處於OFF狀態(tài)下的漏電流進行(háng)高度靈敏的測試。如果開啟電壓(yā)和漏電流太高,會(huì)對影像產生重要影響,所以(yǐ)電流必須要測至(zhì)fA量(liàng)級。柵極漏電流(liú)對器件(jiàn)性能的影響(xiǎng)也是重要的,和其他低電流現象一樣。 還有一種常見現象,當配置好一套FPD特征係統後,測(cè)試者往往對DC參數儀器比較(jiào)關注,而忽略了係統的其他(tā)部分,比如電纜、探針卡等。事實上,這些部(bù)分成了噪聲(shēng)最主要的來源。 對於(yú)超低電流測量,具備一套高度集成的參數特征分析係統是非常重要的,不僅包括(kuò)測量係統,也包括(kuò)測試夾(jiá)具、探針台、開關係統、連接、電纜接地和屏蔽等方方麵麵。即(jí)使(shǐ)係統裝好之後(hòu),下麵這(zhè)些因素依然影響著測量噪聲,精度和測試速度:電纜和寄生電容、分流阻抗、接地/屏蔽/保護、開關矩陣(zhèn)的漂移和漏電、探針卡和測試頭設計、儀器噪聲和設置時間及環境電氣噪聲等。 低溫聚(jù)合矽顯示 要求更多測試 早期的聚合石英矽要(yào)求(qiú)有高的沉積溫度,然而這對於在玻璃上LCD的製造是不切實際的。然而,今(jīn)天的LTPS技術已經克服了製造中的很多問題,其固有的較高速(sù)度給顯示技術帶來了可以看見的好處。玻(bō)璃上(shàng)p-si技術的另一個優點是在同一工(gōng)藝過程中也能生產驅動切片,這節省了成(chéng)本和空間(jiān),改(gǎi)善了可靠性。作為低溫p-si顯示(shì)技術發展所(suǒ)帶來的低成(chéng)本生產技術,它將繼續在尖端技術和市場份額中占有一席之地。它們迅速發展,成為(wéi)具有高附(fù)加值的顯示器。這些"在玻璃上的係統"的FPD功耗小,會產生(shēng)更明亮的(de)圖像,具有(yǒu)較(jiào)快的響應速度、更高的(de)分(fèn)辨率,對(duì)外部電路(lù)要求較少。 LTPs顯示(shì)要求能有更多的測試(shì),因為它們引入了其他的控製(zhì)器件,並且(qiě)要在視頻下操作。這些(xiē)測試包括驅動器IC上的測量帶有時鍾信號的數(shù)字測試、高頻率操作下的檢測等(děng)。因此,和傳(chuán)統的a-si產品比較起來,要能(néng)夠有更高的測試(shì)速度。假設p-si主動器件相對(duì)較小,並且(qiě)經常是在較低電流下工作,測試它們可能要求有更高(gāo)的靈敏度。此外,在p-siFPD上(shàng)進行類似的參數測試,會遇到在a-si測(cè)試中同樣的問題。然(rán)而,其他的信號源和儀器使得(dé)LTPs測試係(xì)統的集成成(chéng)為了一個問題(tí)。這(zhè)包括參數測試儀接口問題、同步問題以及軟(ruǎn)件兼容性問題。 有(yǒu)機發光(OEL)FPD材料 評估很關鍵 光發射聚合物(LEP)器件是在布魯赫斯大學和英國(guó)劍橋大學的工作人員在(zài)研究大分子聚合物技術的(de)基礎上發(fā)展起來的。這種技術主要用在小麵積(jī)及低速/分辨率的應用。聚合物顯示的主要優點是它能夠將塗層覆蓋在(zài)玻璃基底上。在某些情況(kuàng)下,將感光物質加入(rù)到薄膜(mó)中,因此,理論上非常容易做成簡單的(de)、低成本的主動矩(jǔ)陣顯示。 OLED器件是(shì)基於Kodak公司的小分子技術(shù)發展起來的,它與大部分(fèn)半導體工藝流程技術是相同的,但是遠比LEP製造複雜。然而,它們(men)是高信息容量的弄潮兒,比如寬頻顯示(shì)器、監視器、TV等。在這些應用中,它們幾乎取代了LCD,因(yīn)此,有很多研(yán)究者和公司熱衷(zhōng)於此項(xiàng)技術(shù)。 材料壽命仍然是限製OELFPD技術應用的關鍵因素,所以測試集中於評估材料、工藝過(guò)程以及光輸出與工作壽命的關係。在產品生產和過程期間,器件特性測試(shì)係統能夠有助於生產者(zhě)為提高產量和質量而對工藝進行修正。與OLED測試有(yǒu)關的一個問題是這些係統(tǒng)中的較(jiào)高的(de)電容值。盡管很多測(cè)量與AMLCD器件相同,但在測試(shì)過程中必須在不額外增加測試時間的情況下處理這個電容。而且,如(rú)果OELFPD像素是主動發光器件,在(zài)DC和脈衝DC工作的(de)條件下確認LIV特性,會增加測試的複雜性。 相(xiàng)關鏈接 FPD的發展趨勢 FPD的製造商們正在著重於新技術的應用以滿足市場應用的需要(yào)。顯示技術從無序列的LTPs、LCD顯示(shì)器發(fā)展到高能發射的有機OLED,這些(xiē)高速發展(zhǎn)的技術帶來了高附加值的產品,但也增大了投資成本(běn),目的是縮短進入市場的時間,啟動新的產品線,同時(shí)提(tí)高產量,所有這(zhè)些均要求不(bú)管是在研發和生產階段,儀器係統要能夠進行有效(xiào)率的測試(shì),為更高的產(chǎn)量和精度提供保障。
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