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國內首次成功製備GaAs基長(zhǎng)波長激光器 (2004-11-23)

發布時(shí)間(jiān):2007-12-04 作者: 來源: 瀏覽:1100
近日,由半導體所半導體超晶格國家重點實驗室牛(niú)智川研究員承擔的GaAs基近紅外(wài)波段半導體光電子材料(liào)生長和激光器研究項目獲得重要突破。 目前光通訊波段用的材料主要(yào)集(jí)中在以InP為基片的GaInAsP和GaAlInAs體係,這種材料係在(zài)與波分複用(WDM)技術相關的(de)發射、調製、放大、波導、接收等以單元器(qì)件為基礎的(de)小規模集成係統上,取(qǔ)得了成功,促進了光(guāng)網絡、特別是光傳輸網絡的發展。而InP基材(cái)料也存在難(nán)以克服的缺點,因此,發展適於通訊波段(duàn)的GaAs基新材料體係十分必要。 未來的光纖網絡必須依靠(kào)各種(zhǒng)光子集成(chéng)功能器件來支撐,隻有集成才能帶來速率的提高、功能的擴展、性能的優(yōu)化及高(gāo)度的可靠與穩定性,半導體材料光子集成技術因此成為國際學術界和(hé)產業(yè)界研發的熱點(diǎn)。近年來,歐、美、日等發(fā)達國家在GaAs基長(zhǎng)波長(zhǎng)材料研究方麵投入大量人力物力。在(zài)InAs量子點、GaInNAs量子阱(jǐng)材料和器件方麵不斷取得進展(zhǎn)。 在國內,中科院半導體研究所充分意識到這方(fāng)麵的研究工作不(bú)僅具(jù)有重要的(de)學術價值,更有廣泛的市場應用前景,為使我(wǒ)們國(guó)家在這一領域掌(zhǎng)握(wò)獨立知識產權,在科學研究和技術開發的激烈的國際競爭中立於不敗之地,自上世紀90年代末期開始在這方麵開始了一(yī)係列(liè)研究工作。成立了由牛智川研究(jiū)員領導的聯合課題組,課題組成員由半導體超晶格國家重點實(shí)驗室(shì)和國家光電子工藝中心分子束外延(yán)組構成。經過刻苦(kǔ)努力,課題組在GaAs基近紅外波段半導體光電子材(cái)料生長和激光器研究項目不斷獲得重要突破。在2000年(nián)之前的初始(shǐ)階段,他們首先掌握了InAs量子點的分子束外延生長新技術,並開發了工作波長0.9-1.1微米激光器。第二階(jiē)段至2002年,成功獲(huò)得(dé)1.3微米量子點生長(zhǎng)技術,並突破(pò)性提(tí)高長波(bō)長量子點均勻性,室溫發光效率(lǜ)大幅度提高,研究結果創國際(jì)紀錄而受到國際關注。第三階段在(zài)最近(jìn)的兩年裏,成功突破了長波長高密(mì)度量子點的生長難題,製備(bèi)出GaAs基InAs自組織量子點邊(biān)發射激光器,激射波長1.33微米(mǐ),實現室(shì)溫連續工作。這是迄今(jīn)為止國內首次成(chéng)功製備GaAs基長波長激光(guāng)器。是GaAs基近紅外(wài)材料(liào)在激光器、探測器等器件中得到推(tuī)廣應用(yòng)的(de)最重要進展。其(qí)中關(guān)鍵性突破在於他們掌握(wò)了(le)長波長高密度量子點的生長這一(yī)核心技術,同時還開(kāi)發和優化(huà)了新型GaAs基長(zhǎng)波長激光器新工藝。 這一科研成果成為我國在國際競爭日益(yì)激烈的光通訊用新一代GaAs基(jī)長波長光電子材料和器件研究領域(yù)的新(xīn)突破,有望在不(bú)遠(yuǎn)的時間裏進一步開(kāi)發成功麵向實用化的光(guāng)電子器件。
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