製造領域幾乎所有的創新和技術進步都離不開納米技術，而納米計量不僅（jǐn）是測量和表（biǎo）征納米尺度（dù）器件的基礎，也是微電子、微機械（xiè）、超精密加工、納米醫學、納米生（shēng）物（wù）學等領域中不可回避的關鍵科學與技術問題。記者今天從浙江省計量科學研究院獲悉，日（rì）前，該院“掃描探針顯微鏡校準裝置”通過了專家組現場考核，建立（lì）了省內首個納米計量領（lǐng）域社會公用計量標準。

    “中國是世界納米科技大國，構建了龐（páng）大的納米製造研發和生產體（tǐ）係，擁（yōng）有數十萬台納米測量儀器。但（dàn）是（shì）納米計量技術、測試儀器和（hé）傳（chuán）遞標準卻相對較少，製約了我國納米製造技術和相關行業的（de）進一步發展。”據浙江省計量科學研究院長度與光（guāng）學（xué）計量研究（jiū）所副（fù）所長茅振華介紹，目前，在國家計量（liàng）基標準資源共享平台項目“微納計量標準技（jì）術在（zài）華東地區的專（zhuān）題服務”的支持下,經過兩（liǎng）年多的（de）研究（jiū）,該院已基本具備（bèi）微納幾何結構關鍵尺寸（cùn）的計量校準能力，建立了我省的納米計量（liàng）量（liàng）值傳（chuán）遞的社會公用計量標準，可為（wéi）半導體（tǐ）企業、精密加（jiā）工中心的關（guān）鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準的途徑，更加全麵（miàn）準確（què）地為半導體、微電子行業的納米尺度關鍵尺寸檢測提供（gòng）技（jì）術保障。

    目前，浙江省計量科學研究院的（de）掃描探針顯微鏡校準裝置（zhì）由5個納米台階高度（dù）標準樣板構成，標稱值分別為（wéi）50nm、100nm、200nm、500nm、1000nm，相對不確定度為Urel=2.8％～0.6％(k=2)，標準樣板均由納米（mǐ）幾何結構計量標準裝置進行絕對法定值，定值結果可直接溯源至激光波長國家基準。該（gāi）校準（zhǔn）裝置已經達到國內領先水平（píng），能夠校準如掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、台階儀、輪廓儀等多（duō）種微納米級測（cè）量儀器。