近日，由上海市計測院承擔的上海市質量技術監督局科技計劃項目《亞（yà）微米尺度顆粒/薄（báo）膜能譜成分定量分析方法（fǎ）研究（jiū）》（項目編號：2014-02）順利通過專家驗（yàn）收。

    掃描電子顯微鏡配備的能譜（pǔ）儀是快速、準確獲得材料微區成分的主要手段（duàn）。隨著亞微米尺度材料的廣泛研究，結合場發射電鏡及能譜儀的（de）最新發展技術，《亞微米尺度顆粒/薄膜能譜成分定量分析方法研究》項目組通過降低掃描電鏡加速電壓，減少電子束擴散範圍，並以蒙特卡羅法（fǎ）模擬低電壓下（xià）電子束的運動軌跡，從而（ér）確定合適（shì）的低加速電壓。同時建立常見元素的低加速電壓EDS標準譜圖庫，解決低加速（sù）電壓EDS標準（zhǔn）譜圖數據庫缺失的問（wèn）題，並建立了亞微米尺度單顆粒、薄膜的吸收修正（zhèng）模（mó）型，優化低加速電壓下的定量校準方法。項（xiàng）目組發（fā）表（biǎo）文章4篇，根據項目研究方向建立了相應檢測方法，通（tōng）過了新項目評審。

    該項目成（chéng）果填（tián）補亞微米尺度能譜定性（xìng）定量分析的空白，為亞微米尺度材料微區成分分析提供了技術支撐。將項目的研究成果應用於陶瓷固相反應燒結機理研究中，可以有效的進（jìn）行反應機理研究，提高工作效率；將項目的研（yán）究成果應用於無損情況下確（què）定鍍層厚度研究中，可以快速、準確（què）地確定（dìng）鍍（dù）層厚度，降低測試成本。