3月28日，由中（zhōng）國計量科學（xué）研究院（以下簡稱“中國計量院”）承（chéng）擔的國（guó）家科技支撐計劃項（xiàng）目“微納技術計量標準（zhǔn）和物質研究”項目課（kè）題“用於計量的微納集（jí）成器件關鍵技術研究”順利通過由國家質檢總局組織的專家組驗收。

    課題（tí）驗收會上，清（qīng）華大學金國藩院士、北京航（háng）空（kōng）航天大學（xué）姚駿恩院士等技術專家組成員聽取了課題組的報告，審閱（yuè）了驗收（shōu）材（cái）料，經質詢和討論，一致認為課題組成功實（shí）現了“單個量子化（huà）霍爾（ěr）器（qì）件”、“量子化霍爾陣列器件”、“約瑟夫森結陣器件”以及“兩維電子氣量子阻抗器件”等多種微納量子器件和集成器件的自主研製。

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圖為“用於計量的微（wēi）納集成器件關鍵技術研究”課題驗收會議現場

    據課題負責人，中國計（jì）量院研究員李勁勁介紹，以量子物理為基礎的新一代計量基準正（zhèng）在逐步取代實物基（jī）準成為各類量值溯源的源（yuán）頭，而許多量子計量基準的核心正是微納器（qì）件。但是截至目前，我國（guó）部分基標準（zhǔn）所（suǒ）采（cǎi）用的高性能核心器件仍依賴（lài）於國外進口。為了保證我國計量體係的獨立性、建立（lì）我國核心量子器件的自主製備能力，課題組針對國家計量基準急（jí）需的微納器件及相關製造技術開（kāi）展了（le）深入研究。

    經過4年（nián）攻（gōng）關，課題組成功建立了具有自主知（zhī）識產權的多種微納器件研發能力：研製（zhì）出可替代國外器件、用於量子化霍爾國家電阻基準的單個（gè）量（liàng）子化霍爾器件；在國內首次實現了可以產（chǎn）生1 kΩ和10 kΩ整數電阻值（zhí）的（de）量子化霍爾陣（zhèn）列（liè）器件，使我國成為國際上（shàng）少數掌握該（gāi）技術（shù）的國家之一；研製的約瑟夫森結陣器件輸出量子化電壓平（píng）台平坦度可以滿足量子電壓基準要求（qiú）；在二維電子氣量子阻抗器件製造以及石墨烯納米薄膜製備技術等方麵也取得（dé）了多（duō）項突（tū）破，填（tián）補了國內空白，為（wéi）未來其（qí）它計量基準所需（xū）的微（wēi）納器件自主研發奠定了基礎。