日前（qián），電工研究所聯合中國計量科學院、國家納米科學技術中心（xīn）共同研製成功國內首套可溯（sù）源計量型掃描電子顯微鏡。

　　電工所在高分辨力場發（fā）射掃描電子顯微（wēi）鏡的基礎上，加裝激光幹涉儀測距的納米級高精度位移台（tái）, 並提出了采用步進掃描代替傳統電子束（shù）掃描的圖像獲取的創新方法。該方法可直接關聯圖像掃描與激光幹涉（shè）儀的位置測量，實現對樣品納米結構掃（sǎo）描成像的量值溯源，有效減少電子束掃描成像過（guò）程中放大倍率波動和掃描線圈非線性特征在納米尺度測量中產生的誤差，從而實現對樣品納米（mǐ）結構的溯源（yuán）測量。

　　該設備的研製成功對我國納（nà）米尺度（dù）計量標準的製定、掃描電（diàn）子顯微鏡及其它納（nà）米尺寸測量儀器（qì）的校準、納米標樣和標物的校準、參與國際長（zhǎng）度比（bǐ）對等方麵將起到重要作用。