《微、納米功能薄膜分析方法研究及其（qí）國家標（biāo）準製訂》項目通（tōng）過驗收
發布時間（jiān）：2016-01-04
作者：
來源：上（shàng）海市計測院
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近日，由上（shàng）海市計測院承擔（dān）的上海（hǎi）市質量（liàng）技術監督局（jú）科研項目《微、納米功能薄膜分析方法研究及其國家標準製訂》（項目編號：2013-49）順利通過（guò）專家驗收。
微、納米功能薄膜材料在戰略性新（xīn）興產業中扮演非常重要的角色，已被廣泛（fàn）應用於太陽（yáng）能電池、集成電路、半導體存儲器件、氣體（tǐ）傳感器等領域。而針對薄膜開展測量方法研究也是（shì）確保產（chǎn）品質量，改進生產工藝，以及查找產品失效原因的基礎。項目組結合當前（qián）微、納米薄膜測量研究難點，開展了利用輝光放電發（fā）射光譜分析（xī）金屬氧化物膜的方法研究，完（wán）成了《表麵（miàn）化學分析輝光（guāng）放電發射光譜 金屬氧化物膜的分析》國家標（biāo）準（zhǔn）製訂。該標準的製訂為功能薄膜的測（cè）量提供可依靠的標準方法，也為相關薄膜測量儀器的研製以及（jí）薄膜測量結果的一致（zhì）性（xìng）提供技術支持，填補了我國在利用輝光放電發射光譜分析（xī）金屬氧化物膜標準方法（fǎ）的空白。項目組圍繞（rào）項目研（yán）究內容發表研究論文3篇，製定國家標（biāo）準1項。項目研究成果得到驗收專家的一致認可。
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