中科院上海（hǎi）光學精密機械研究所信息光學與光電技術實驗室周常河、賈偉等人近期成功研製出高精度長（zhǎng）程光（guāng）柵的加工裝置（zhì），其主要優點是速度快、精度高。利用該裝置已加工出40微米、20微米、10微米、5微米等多種周期的高精度光柵。研製出的5微米周期光柵長度達到210mm，周期均勻性實驗（yàn）控製精度優於亞納米級。該裝置可以拓展加工米級光柵甚至更長光（guāng）柵，研製的高精度長程光柵將（jiāng）顯著（zhe）提（tí）高我國在此（cǐ）領域的技術水平。

　　光柵尺是通過（guò）物體（tǐ）移動時，采用莫爾條紋或相（xiàng）關技術，通過（guò）移動光柵的計數，實現精密測量的技術，可以看作觀測物體精密移動的“眼睛”。光柵尺以其小巧簡單（dān）的結構，廣（guǎng）泛應用於機床加工，電（diàn）控移（yí）動平台等精（jīng）密移動測量，其精度直接決定了精密機床的加工水平和精密移動平台的水平。光柵尺的核心部（bù）件就是高精度光柵，但（dàn）高精度（dù）的光柵國（guó）外（wài）對我國實行（háng）禁運，特別是具有納米精度的長程光柵，是我國高精度光柵尺產業必（bì）須解決（jué）的關鍵難題，也是目前納米製造技術麵臨大尺度納米加工精度的極大挑戰。本次在高精度長程光柵研製方麵取得（dé）的突破使得我國具有了製造高精度光柵尺光柵的能（néng）力，對我（wǒ）國機床高精度加工及精密移動平台等相關產業的發展具有積極推動作用。