在（zài）“十二五”863計劃新材料領域“先進激（jī）光材料及（jí）全固態激光技術”主題項目支持下（xià），中國科學院理化技（jì）術研究所承擔的“深紫外激光器及（jí）人工晶體關鍵技術”課題取得重大進展，於近期通過了課題技術驗收。
    深紫外激光由於波長（zhǎng）短、光子（zǐ）能量高，因而在高（gāo）分辨率成像、光譜應用、微細加工等（děng）諸多領域（yù）具（jù）有重要的應用價（jià）值，獲得實用化、精密化的深紫外光源一直是科學家們（men）不斷追求的目標。我國在深（shēn）紫外晶體材料和激（jī）光技術領（lǐng）域具有國際領先優勢，但隨著應用的發展，急需更高性（xìng）能（néng）的深紫外全固態激光源（DUV-DPL），如更高功率、更窄線寬。
    該（gāi）課（kè）題在國際上首次實現高功率、窄線寬177.3nm深紫外激光輸出，解決了大尺寸KBBF 族深紫外晶體生長、優（yōu）質KBBF-PCT器件研製（zhì）、高效深紫外倍頻技術、窄線寬深紫外激光產生技術等關鍵問題（tí），KBBF晶體厚度突破4mm，首次獲得了（le）大功率（146.5 mW）、窄線寬（0.88 pm）的（de）177.3 nm深（shēn）紫外激光輸出（chū）。
    課（kè）題完善、鞏固了我國擁有的深紫外自主（zhǔ）知識產權體係，填補了直接倍頻產生（shēng）高功率、窄線（xiàn）寬深紫外激光的空白，擴展了深紫外激光（guāng）可實用化、精密化應用。