1納米是一根頭發絲的8萬分之一,而小於1納米則被稱為亞納米(mǐ)??這是國(guó)防科大精密工程創新團(tuán)隊在超精密光(guāng)學零件加工中創造的“中(zhōng)國精度”,有力(lì)支撐了(le)“極大規模集成電路製造裝(zhuāng)備與成套工藝”等(děng)3個國家重大(dà)科技專項創(chuàng)新突破,3年來為國家創造直接經濟效益(yì)2億多元。近日,該校研製兩種超精拋(pāo)光裝備通過國家(jiā)重大科(kē)技專項驗收。
超精密加工是以高精度(dù)為(wéi)目標的先進製造技術,納米精度被譽為超精密加工技術皇冠上(shàng)的明(míng)珠,西方發達國家將其視為戰略資源,嚴格限製出口。麵對我國光學零件製造水平的窘境,國防科大精密工(gōng)程創新團隊在(zài)李聖(shèng)怡教授率領下,跳過一、二代光學(xué)零件製造加工技術,直接瞄準基於可控柔體製造的第三代光學加(jiā)工方法開展攻關,在(zài)國內首次研製出擁有自主知識產權的磁流變、離子(zǐ)束(shù)兩種超精(jīng)拋光裝備,創造了我國光學零件加工(gōng)亞納米的“中國精度”奇跡,使我國光學自動化加工技術及工藝一躍進入世界先進水平,成為繼美、德之後第三個掌握高(gāo)精度光學零件製造加工技術的國家(jiā),也是目前世(shì)界上唯一同時具有(yǒu)磁流變和離(lí)子束拋光裝備研(yán)發能(néng)力的國家。
近3年來,該團隊與中科院、中國航天科技集團、中國航空工業集團等合作,推動我國空間光學、高端裝備(bèi)製造發(fā)展,自主研製出兩大類7個型號的磁(cí)流變(biàn)和離子束拋光機床,為“極大規(guī)模集成電路製造裝備與成套工藝”“高分辨率對地(dì)觀測係統”等3個國家重大科技專項(xiàng)提供技術保障和(hé)裝(zhuāng)備支撐,解決了一(yī)係列製(zhì)約其創新發(fā)展的技術難題。團隊先(xiān)後獲得(dé)科技部重大科技專項頒發的“突出貢獻獎(jiǎng)”和“突出成果獎(jiǎng)”。
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