“我國現有（yǒu）的大科（kē）學裝置（zhì）基本是圍繞基本粒子、宇宙探測以（yǐ）及由此（cǐ）發展的各類加速器。但麵（miàn）對二十一世紀科技發展的需求，圍繞納米領域建設大型科學研究（jiū）設施，已經成為了不能回避的問題。”在日前召開的以“支撐納米科技發展（zhǎn）的大型基礎（chǔ）科學設（shè）施??現狀與展望”為主題的（de）第433次香（xiāng）山科學會議上，與會專家就此問題達成（chéng）了基本共識。

      集成電路的微小化和納米電（diàn）子學的（de）飛速發（fā）展（zhǎn），激發人們在新型納米材料製備、器件加工及封裝測試等領域（yù）展開廣泛研究，這（zhè）就提出來對超常規的大型（xíng）科學（xué）裝置的急切需求。據了解，目前除（chú）了常規的（de）超淨間加工平台外，一些（xiē）國（guó）外的先進實驗室，如美（měi）國Argonne國家實驗室嚐試性建設了一（yī）些真空互聯裝置，歐洲和日本的一些著名大學和研究所也在不斷地加入。

      雖然我國在納米材料方麵展開了許多研究，並取得了許多（duō）創新性科（kē）研和轉化成果。然而，由於對納米器件研究的認識與投入不足，特別是（shì）納米加工設施和納米（mǐ）加工技（jì）術相對落後，使得我國在這一領域整體的科（kē）研和應用水平與發（fā）達國家差距拉大。因（yīn）此，研製具有高端的材（cái）料生長、微納加工、器件封裝測（cè）試的強大功能真空互（hù）聯係統，成為了急需（xū）突破的瓶頸（jǐng），具有極其重要的戰略意義（yì）。

      據（jù）本次會議執行主席（xí）之一、中科院（yuàn）蘇州（zhōu）納米技術與納米仿生研究所楊輝（huī）研究員介紹，目（mù）前國內多家科研機構正在規劃（huá）、籌建“納米真空互（hù）聯綜合實驗站”，其目標是在未來5?10年內，建（jiàn）立一個真空環境的機械和控製互聯係統，實現無機到有機的材料製備（bèi）、器件加工與封裝、以及各（gè）種極（jí）端條件下（xià）測試的綜合研究的設施（shī），通（tōng）過真空互聯解決在材料生長、器件工藝環（huán）節、測（cè）試分析以及樣品轉移中水氧（yǎng）等雜質汙染問題；提供本征條件下材料（liào）、器件結構及其性能關係的尖端科（kē）學研究平台；突破現有材料生長、器件工藝、測試分析的功能極（jí）限。

      納米真空互聯綜（zōng）合實驗站將圍繞當前納米科學研究領域三個重大關鍵問題：納（nà）米材料和納米器件的規模可控製備；納米材料與器件尺（chǐ）度效應、維度效應和界麵效應；高分辨率、多（duō）參（cān）量聯合在線測試技（jì）術（shù）等，展（zhǎn）開（kāi）科研（yán）建（jiàn）設。在互聯裝備中，重（chóng）點解決真空獲得、樣品（pǐn）架的傳遞和轉移以及圖形生成等三個（gè）工程技術問題。根據平（píng）台（tái）屬性，實驗站還將提（tí）供不同（tóng）級別真空係統的用戶（hù）站點。

      與會專家認為，“納米真空互（hù）聯綜合實驗站”這類大型基礎科學設施提供的研究平台，將在多個領域起（qǐ）到前所未有的重要作用。例如，為（wéi）了解決全球性（xìng）氣候變化，國家戰略性能源短缺，及城市環境汙染等關鍵問題，高效率能量轉換與能量存（cún）儲技術必將成（chéng）為未來幾十年科學界的研究重點，而要實現能量（liàng）轉換及存儲效率上的突破，新材料的探（tàn）索及其納米尺度的結（jié）構與界麵（miàn）的控製至關重要（yào）。而可以實現可控的（de）材料製備，納米加工與封裝，以及在各種極端條件下的材料測試和表征的大科學裝（zhuāng）置（zhì），將為這一領域研究提供（gòng）無可比擬的重要平台。