先進電氣測試儀器與係統的世界級（jí）領導者吉（jí）時利儀器公司不斷增強半導體行業性（xìng）價比最高的高速生產參數（shù）測試方案??S530參數測（cè）試係統的功能（néng）。由於有吉時利測試環境軟件(KTE V5.4）的支持，S530目前配置為48引腳（jiǎo）全Kelvin開關（guān）以及脈衝發生、頻率測量和低電（diàn）壓測量的新型集成選件。這些新增強的功能幫助S530係統實現了（le）更寬範圍的生產（chǎn）參（cān）數測試應用和高速、經濟有效的測試方（fāng）案。如欲了解更多信息，請登（dēng）錄吉時利網站（zhàn）：www.keithley.com.cn
48引腳全Kelvin開關配置
      S530低電流係統利用高性能開關矩陣（zhèn）控製測量儀器與測試引腳之（zhī）間的信號傳（chuán）輸，實現了一直到探針引腳的亞皮安級測量分辨率和低電流防護。目前，此係統（tǒng）的最新功能增強支持48引腳全Kelvin（4線式）開關配（pèi）置，使以前提供的全Kelvin引腳數量翻番。通（tōng）過保持與全（quán）Kelvin開關和連線有（yǒu）關的信號完（wán）整性，同時將係統最（zuì）大引腳數（shù）翻番，S530結合了精密（mì）高速測量和增強的（de）係統配置靈活性以確保（bǎo）未來（lái）的全麵測試覆蓋。

環路振蕩（dàng）器選件的測量功能
      一（yī）種（zhǒng）新的高速、高分辨率示波器選件支持（chí）寬頻測量範圍上（shàng）的環路振蕩器測試。該新係統選件以高達400兆采樣/秒的采樣速率實現了從大約（yuē）10kHz至20MHz的測量。隨著越來越多的半導體晶圓廠已將（jiāng）環路振蕩器納（nà）入整個過程控製監測（cè）測試結構中，參（cān）數測試係統的頻率測量功能變（biàn）得日益（yì）重要。
脈（mò）衝發生選（xuǎn）件的功能
      隨著更多的集成（chéng）電路設計中引入了嵌入（rù）式存儲器例如閃存，半導體晶圓廠不斷將內存結構和測量加入過程控製（zhì）監測程序，這些器件的測試要求輸（shū）出用戶定義的電壓脈衝（chōng）來（lái）設（shè）置和擦除內存單元（yuán），再進行器件的精密直流測量。為滿足此需求，把現在放置電容-電壓(C-V)儀器卡的相同子係統機箱集（jí）成2通（tōng）道、4通道或6通道脈衝發生功能至S530的（de）配置中，使S530產生寬範圍的器件測試（shì）波形並增（zēng）強係統靈活性。
係統DMM選件
      作為過程控製監測（cè）的一部分，測試範德堡和金屬結構要求結合低壓測量、高測量分辨率和卓（zhuó）越的可重複性。對於（yú）這些應用（yòng）而言（yán），S530係統現提供專為（wéi）低壓測量優化的7位（wèi）半、低噪聲數字萬（wàn）用表選（xuǎn）件（jiàn）。它（tā）在（zài）最低（dī）量程（100mV）上具有10nV分（fèn）辨率，在次低（dī）量程（1V）上具有100nV分辨率，同時具有7ppm直流電壓可重複性。
選（xuǎn）擇低電流或高電壓（yā）係統（tǒng）
      有兩種不同配置的S530係統。S530低電流係統適於測量亞域值漏電、柵漏電等特性。S530高壓係統包含（hán）的源測量單元（SMU）能輸出高達1000V@20mA（20W最大值）至任意係統（tǒng）引（yǐn）腳。此版本優化了GaN、SiC和Si LDMOS功率器（qì）件所需的難度較大的故障測試和漏電測試。雖然新的48針Kelvin開關是低電流係（xì）統的獨（dú）特功能,但所有新的量測選項都可搭（dā）配於這兩個係統。
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