中國科(kē)學院長春光學精密機械與物理研究所王(wáng)立(lì)軍研究員帶領的課題組,攻克了大功率半導體激(jī)光器關鍵核心技術,成功開發出千瓦量級、高光束質量、小型化的各種半導體激光光源,並將成為工業激(jī)光加工領域(yù)的新一代換代產品。日前這項“高密(mì)度(dù)集成、高光束質量激光合束高功率半導體激光關鍵技術及(jí)應(yīng)用”榮獲2011年度國家技(jì)術發明(míng)獎二等獎。
大功率半導體(tǐ)激光器是激光加工(gōng)、激光醫療、激光顯示等領域的核心光源和支撐技術之一。但是(shì)它也存在光束質量差、單元器件功(gōng)率小、功率密度(dù)低(dī)等缺點。雖然通過激光線陣(zhèn)封裝、疊層封(fēng)裝(zhuāng)等技(jì)術,能夠提高其功率到千瓦級,但是很難提高其功率密(mì)度和改善光束質量,限製了它在上述各領域的應用。
王立軍團隊通過激光光束(shù)整形、激光合束等關鍵技術,實現了高(gāo)光束質量半導體激光大功率輸(shū)出:發明了一種多模多光纖功率耦合器及其製備方法;獲得了“多(duō)重光束(shù)耦合(hé)大功率半導體激光裝置”和“大功率光束耦合半導體激光器”兩項發(fā)明(míng)專利(lì),攻克了半導(dǎo)體激光合束等係列關鍵技術(shù),在國內首次開發(fā)出2600瓦高(gāo)光束質量高效節能半導體激(jī)光加工機光源,為(wéi)產品更新換代奠定基(jī)礎;獲得了“半導體激光線陣(zhèn)及迭陣的微通道熱沉化學清洗裝置”、“粗(cū)糙元型半導體激光器有(yǒu)源熱沉結(jié)構及製備(bèi)方法”、“半導體(tǐ)激光頭泵浦源用微通道熱沉結構及製備方法”和“複(fù)合熱沉半導體激光器結構及製備方法”等4項授權發明專利。
攻(gōng)克了千瓦級(jí)半導體激光器散熱難題,開發出42層6700瓦激光迭陣模(mó)塊,成功應用於國家重大項目;發明了一種垂直腔麵發射激(jī)光器列陣的串(chuàn)接結構(gòu),解決了垂直腔麵發(fā)射激光器大麵積(jī)二維(wéi)集成麵陣需(xū)大電流驅動的技術難題,為千瓦至萬瓦級高光束質量激(jī)光麵陣開發及應用奠定(dìng)了基礎。
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