美國斯坦福大學日前披露了使用小（xiǎo）型MEMS加速（sù）度傳感器，在耳朵中嵌入人工內耳的技術。在韓國漢城召（zhào）開的MEMS技（jì）術國際學術會議“TRANSDUCERS’05”上進行了（le）技術（shù）發表。 此次發（fā）表的是通過被稱為耳小（xiǎo）骨的骨頭，將鼓膜振動傳導給加速度（dù）傳感器來捕捉聲音的技術（shù）。目前一般采（cǎi）用在耳外裝麥克的方法，但這種方法捕捉不（bú）到風嘯等人耳聽不到（dào）的聲音。而要想把麥克置入耳中，為了避免（miǎn）水分和灰塵等（děng）進入麥克內部，就必須將麥克密封起來。但業界認為將麥克密封起來以後，存在靈敏（mǐn）度下降（jiàng）的問題。此次（cì）則（zé）采用了利用加速度傳感器而不是麥克得到與聲壓相應的振動的方法。 采用密閉式封裝，尺寸僅387μm×387μm×230μm。重量（liàng）為（wéi）100μg。這樣的尺寸對於構成耳小骨的3塊骨頭顯得非常小，能夠裝在骨頭上。另外，相對於耳小骨近50mg的重量也（yě）非常輕，即使裝在這塊骨頭上，對鼓膜傳導的振（zhèn）動也不會產生太大的影響。 實驗得知（zhī），100～10kHz頻帶的（de）60至120dB聲壓對於（yú）耳小骨就相當於40μ～3g（1g為9.8m/秒2）的加速度。此次使用的加速度傳感器分辨率為0.47mg/（Hz的平方根），因此聽不（bú）到頻率在100Hz以（yǐ）下的聲波。 此次開發的3軸加速度傳感器采用由橫（héng）梁支撐重量的結構，在（zài）橫梁的側麵裝有壓電電阻（zǔ）元件。在上麵塗覆厚20μm的epi-poly膜後進行封裝。