由西安交通大學承擔的國家（jiā）863計劃項目??耐高溫壓力傳感器有效解決了我國石油化工、航（háng）空航天、汽車工業等領域高溫環境下壓力測（cè）量的技術難題，具（jù）有很高的推廣和使用（yòng）價值。 據西安（ān）交大精密工程研究所教授蔣莊德介紹，由（yóu）他率領的課題組經過4年研究，研（yán）製成功的矽隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在（zài）－30℃～250℃環境下完成1000MPa以下任意量程範圍的壓力（lì）測量，能承受2000℃瞬（shùn）時高溫衝擊。 由教育部近（jìn）日組織的科技成果鑒定認為，該（gāi）項目屬國內首創，傳感器性能（néng）指標和總體水（shuǐ）平達（dá）到國際先進水平，在敏（mǐn）感元件集成設計和傳感器結構設計等方（fāng）麵達到國際領先水平。 專家認為，該產品采用高能氧離子注入（rù）技術製作二氧化矽（guī）隔離層，將檢測電路與基底隔開（kāi），避免了高溫環（huán）境下檢測電（diàn）路與基底之間的漏電問題，解決了常規矽壓力（lì）傳感器120℃失效的技術難題（tí）；該產品將被測高溫流體（tǐ）與矽敏感元件相隔離（lí），避免了被測流體的瞬時高溫衝（chōng）擊，解決了2000℃瞬時高溫衝擊的難題；采用鈦－鉑－金耐高溫布線係統，解決了高溫等惡劣環境下傳感器引線的技術（shù）難題。 目前，該傳感器（qì）經航空618研究所、航天210所及西安宏邦石油儀器有限責任（rèn）公司等單位試用表（biǎo）明（míng），產品成本低、性能（néng）穩定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高，不僅在靜態精度（dù）、耐高溫工作能力及動態響應能力等（děng）技術指標（biāo）上可與國外同類先進產品媲美，而且在耐瞬時高溫衝擊、工作量程等性能指（zhǐ）標上有獨到之處，有效解決了長（zhǎng）期困擾企業的高溫環境下壓力測量的難題。 據了解，國內各領（lǐng）域對耐高溫壓力（lì）傳感（gǎn）器的年需求總量約為4萬隻（zhī），並隨（suí）著（zhe）國民經濟和國防（fáng）現代化的（de）發（fā）展，每年以10％～32％的速（sù）率遞增。而長期以來，我（wǒ）國耐高溫壓（yā）力傳感器產品主要依賴進口（kǒu）。因此，該產（chǎn）品的市場前景十分廣闊。