中科院理化技術研究所承擔的（de）院儀器（qì）研製（zhì）項（xiàng）目“納米光子學超細微加工係統”近日通過中科院綜合（hé）計劃局組織（zhī）的專家驗收。現場加工測試結果表明（míng），所研製的納米光子學超細（xì）微加工係統最小加（jiā）工分辨率小於80納（nà）米，加工定位精度達到10納米，最大（dà）加工範圍達（dá）到560微米，具備了良好的三維加工能力。專家組認為，該（gāi）項目按照項目合同的（de）要求，全麵完成（chéng）了合同任務書規（guī）定的各（gè）項任務，技術（shù）指標先進。這（zhè）種可同時具有（yǒu）納米尺度的（de）加工分辨率和（hé）較大尺度（dù）範圍的激光加工係統（tǒng）尚未見報道，具有創新性。在（zài）加工速度、範圍及精度（dù）方麵處於國際先（xiān）進水平。 與以金屬材料、半導體材料、無機非金屬材（cái）料為代表的功能性硬 物質材料相比較，以有機高分子材料、無機－有機複合材料、生物材 料為代（dài）表的功能性軟（ruǎn）物質材料具有可設計的特（tè）異（yì）光學、電子學、磁學 等方麵的特性及其功能的多樣性、可調諧性，可望在包括信息、生物 等方麵的各種功能性器件中得（dé）到應用。與硬物質材料相比較，軟物質 在可加工性（xìng）方麵、特別是微尺度三（sān）維精（jīng）細加工的可能性方麵具有（yǒu）優勢 ，為此（cǐ），要實現功能性軟物質器件的特色與優勢，具有三維結構的功 能性軟物質器件（jiàn）是最有希望的突破口。本項（xiàng）目的研製成功，為（wéi）在納米 尺度上開展以有（yǒu）機高分子光電功能材料為（wéi）主的三維器件的研（yán）究建立了 高水平的技術平（píng）台（tái）。 納米（mǐ）光子學超細微加工係統是理化所（suǒ）段宣明研究（jiū）員負責完成的。 他領導的有機納米光子學研究組已成功製（zhì）備（bèi）了二氧化（huà）鈦、硫（liú）化鎘高分 子納米複合材料的三維（wéi）光子晶體，觀測到其光子晶體帶隙，並在光子 晶體激光器的激射行為研究方（fāng）麵獲得進展，為微納尺度光子學器件研 究（jiū）打下（xià）了較好的基礎。