近年來,傳感器正處於傳統型向新(xīn)型傳感器轉型的發展階段。新型傳感器的特點是微型化、數字化、智能化、多功能化、係統化、網絡化,它不僅(jǐn)促進了傳統產業的改(gǎi)造(zào),而且可導致(zhì)建立新型工業和軍(jun1)事變革,是21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械係統(MEMS)技術基礎(chǔ)上的,目前已成功應(yīng)用在(zài)矽器件上形成矽壓力傳感器(如(rú)上述EJX變(biàn)送器)。微電(diàn)子機械加工技術,包括體微機械加工技術、表麵(miàn)微機械(xiè)加工(gōng)技術、L1GA技術(X光深層光刻、微電鑄和微複製技術)、激光微加工技術和微型(xíng)封裝技術等。MEMS的發展,把傳感器的微型化、智能化、多(duō)功能化和可靠性水平(píng)提高到了新的高度。傳感器和檢測儀(yí)表,在微電子技術基礎上(shàng),內置微處(chù)理器,或把微傳感器和微處理器及相關集成電路(運(yùn)算放大器、A/D、D/A、存貯器、網絡通訊接(jiē)口電路)等封裝在一起完成了數字化、智能化、網絡化、係統化。網絡化方麵,目(mù)前主(zhǔ)要是(shì)指采用多種現場總線(xiàn)和(hé)以太網(互聯(lián)網),這要(yào)按各行業的需求,選(xuǎn)擇其中的一種或多(duō)種,近年內最流行(háng)的有FF、Profibus、CAN、LonWorks、AS-I、Interbus、TCP/IP等。
除(chú)MEMS外,新型傳感器的發展還(hái)有賴於新型敏感材料(liào)、敏感元件和納米技術,如新(xīn)一代光纖傳(chuán)感器、超導傳感器、焦平(píng)麵陳列紅外探測器、生物傳感器(qì)、納(nà)米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、網絡化(huà)傳感器、智能傳感器(qì)、模糊傳感器、多功能傳感器等。
多傳(chuán)感器數據融(róng)合技術正在形成熱點,它(tā)形成於20世紀80年代,它不同於一般信號處理,也不同於單個(gè)或多個傳感器的(de)監測和測量,而是(shì)對基於多個傳感器測量結果基礎上的更高層(céng)次的綜合決策過程(chéng)。有鑒於傳感器技術的微型化、智能化程度提高,在信息獲取基(jī)礎(chǔ)上,多種功能進一步集成以至於融合(hé),這是必然的趨勢(shì)。多傳(chuán)感器數據融合技術也促進了(le)傳感器技術的發展。多傳感器數據(jù)融合的定義(yì)概括為:把分布在不同位置(zhì)的多個同類或不同類(lèi)傳(chuán)感器所提供的局部數據資源加以綜合(hé),采用計算機技(jì)術對其進(jìn)行分析,消除多傳感器信息之間可能存在的冗餘和矛盾,加以互(hù)補,降低其不確定性,獲得對被測對象的一致(zhì)性解釋與描述,從而提高係統決策、規劃(huá)、反應的快速性和正確性(xìng),使係統(tǒng)獲(huò)得更充分(fèn)的信息。其信息融合在不同信(xìn)息層次上(shàng)出現,包括數據層(像素層)融合、特征層融合、決策層(證據層(céng))融合。由於它比(bǐ)單一傳(chuán)感器信息有如(rú)下優(yōu)點,即容(róng)錯性、互補性、實時性、經濟性,所以逐步推廣應(yīng)用。應用領域除軍事外,還適用於自動化技術、機器人(rén)、海洋監視、地震(zhèn)觀測、建築、空中交通管製、醫(yī)學診斷(duàn)、遙感技術(shù)等方麵。
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