沈陽（yáng）科儀是一家具（jù）有半個世紀曆史的老企業。公司前身是中國科學院沈陽科學儀（yí）器研製中（zhōng）心，2001年（nián）整體轉製為（wéi）有限責任公司（sī）。經過（guò）半個世紀的發展，沈（shěn）陽科儀成為集真空儀器裝置研發、生產、銷（xiāo）售、服務為一體的現代企業。    

 研發（fā）資金占收入20%

      秉承中科院的傳統，沈（shěn）陽科儀（yí）重視科（kē）技創新，擁有專利50餘項，組建（jiàn）有“國家真空儀器裝置工程技術研（yán）究中心”。公司副總裁張振厚向《中國（guó）電子報》記者（zhě）介紹，公司以高真空、超高真空、超潔淨真空技術為基礎，主要研製生產大型表麵分析儀器、薄膜材料製備設備（bèi）、納米材料製備設備（bèi）、半導體材料製備設備、空（kōng）間環境模擬（nǐ）裝置、真空冶金（jīn）設備、真空獲（huò）得以及高檔（dàng）真空器件。

      據張振厚介紹（shào），幾（jǐ）年來，公司壓縮一切開支，保證研發投入（rù），年研發投入高（gāo）達（dá）公司上年銷售（shòu）收入的20%。在研發中，公司分層次重點部署了IC裝備整機、關鍵部件/子係統等技術（shù）。其中（zhōng），實現了等離（lí）子體增強化學氣相（xiàng）沉積(PECVD)設備的國產化，該設備零部件國產（chǎn）化率高達70%，技術（shù）指標達到甚至超（chāo）過國際同類產品，已實現銷售。在積極推進6英寸PECVD設備產業（yè）化（huà）的同時，目前（qián）已啟動12英寸PECVD研發，並積極組織申請國家（jiā）“十一（yī）五”IC裝備重大專項。在子係統方麵，公司（sī）承擔了國家“十五”期間的“863”重大專項子課（kè）題“羅茨幹泵(機組（zǔ）)”項目，已申（shēn）請了7項國家專利(其中4項發明專利)，並已獲（huò）得應用（yòng）。

      此外，公司自主研發（fā）的“渦旋幹泵”產品（pǐn）已經（jīng）應用到各種鍍膜設備整機上，正在組織批量生產。“超潔（jié）淨真空閘板閥”已獲3項專利，並（bìng）獲沈陽市專利優秀獎。目前已經實（shí）現批量生產，銷售勢頭良好。

    打好IC設備“翻身仗”

      近年（nián）來，全（quán）球集成電路（IC）產業和集成電路裝備製造業向中國轉移，這又為沈陽科儀的發展提供（gòng）了新的機遇（yù）。張振厚告訴記者，在集成電（diàn）路生（shēng）產線上，約有70%的前道工序工藝設備依賴於高真空、超高真空、超（chāo）潔淨真（zhēn）空技術，這正是沈陽科儀多年來所（suǒ）積累的核心技術。為此，沈陽科儀積極建設具有（yǒu）國際先進水平的集設計、研發、生產、營銷、服務和培訓（xùn）為一體的沈陽集成電（diàn）路裝備（bèi）製造基（jī）地。

      早在2006年，沈陽市政府宣（xuān）布的“024工程”中的“2”，即形成兩個具有國際影響（xiǎng）力的IC裝備核心（xīn）企業集團，就（jiù）有（yǒu）沈陽科（kē）儀。沈陽科儀IC成膜PECVD項目已（yǐ）被列為遼寧省重大科（kē）技專項，與其他公司聯合申報的“IC裝備成膜、勻膠與傳輸係統”項目成為沈陽市重大科技計劃項目（mù）之一。張振厚說，自2004年開始進（jìn）入IC裝備領域，沈（shěn）陽科儀通過開展一係列工作，承擔各級科技計劃項目，逐步發展成為沈陽地區IC裝備骨幹企業。