近年來，國內外在濕度傳感器研發領域（yù）取得了長（zhǎng）足進步。濕敏傳感器正（zhèng）從簡單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數檢測（cè）的方向（xiàng）迅速發展，為開（kāi）發新一代濕度/溫度測控係統創（chuàng）造了有利條件，也將濕度測（cè）量技術提高到了新的水（shuǐ）平。

　　1、 濕敏元件的特性

　　濕敏元件是最簡單的濕度傳感器。濕敏元件主要有電阻式、電容式兩大類。

　　1.1 濕敏電阻

　　濕敏電阻（zǔ）的特點是在基片（piàn）上覆蓋一層用感濕材料製成的膜，當空氣（qì）中的水蒸氣（qì）吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值都發生變化（huà），利用這一特性即可測量濕度（dù）。濕敏電阻的種類（lèi）很多，例如金屬氧化特濕敏電（diàn）阻、矽濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。濕敏電阻的優點是靈敏度高，主要缺點是線性度和產品的互換性差。

　　1.2 濕敏電容

　　濕敏電容一般（bān）是（shì）用高分子薄膜電容製成（chéng）的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酷酸醋酸纖維（wéi）等。當環境濕度（dù）發生改變（biàn）時，濕敏電容的介電常數發生變化，使（shǐ）其電容量也發生變（biàn）化，其電容變化量與相對濕（shī）度（dù）成（chéng）正（zhèng）比。濕敏電容的（de）主要優點是靈敏度高、產品互換性好、響應速度快、濕度的滯後量小（xiǎo）、便於製造、容易（yì）實現小型化和集（jí）成（chéng）化，其精度（dù）一般比濕敏電阻要低一些。國外生產濕敏電（diàn）容的（de）主廠家有Humirel公司、Philips公司、Siemens公（gōng）司等。以Humirel公司生（shēng）產的SH1100型濕敏電容為例，其測（cè）量（liàng）範圍是（1%～99%）RH，在（zài）55%RH時的電容量為180pF（典型值（zhí））。當相對濕度從0變化到100%時，電容量的變化範圍是（shì）163pF～202pF。溫度（dù）係數為0.04pF/℃，濕度滯後量為（wéi）±1.5%，響（xiǎng）應時間為5s。

　　除電阻式、電容式濕敏元（yuán）件之外，還（hái）有電解質離子型濕（shī）敏元件、重量（liàng）型濕敏（mǐn）元件（利用感濕膜重量的變化來改變振蕩頻率）、光強型濕敏元件、聲表麵波濕敏元件等。濕敏元（yuán）件的線性度及抗（kàng）汙染性差，在檢測環境濕度時，濕敏元件要長期（qī）暴露在待測環（huán）境中，很容易被汙染而影響其測（cè）量精（jīng）度及長期穩（wěn）定性。

　　2、 集成濕度（dù）傳感器的性能特（tè）點及產品分類

　　目前（qián），國外生產集成濕度傳感器（qì）的主要廠家及典型產品分別為Honeywell公司（HIH-3602、HIH-3605、HIH-3610型），Humirel公司（HM1500、HM1520、HF3223、HTF3223型），Sensiron公司（SHT11、SHT15型）。這些產品可分成以下三種類型：
　
　　2.1 線性電壓輸出式集（jí）成濕度傳感器

　　典型產品有HIH3605/3610、HM1500/1520。其主要特點（diǎn）是采（cǎi）用恒壓供（gòng）電，內置（zhì）放大電路，能輸出與（yǔ）相對濕度呈比（bǐ）例關（guān）係（xì）的伏特級電壓信（xìn）號，響應（yīng）速度（dù）快，重複性好，抗汙染能力強（qiáng）。

　　2.2 線性頻率輸（shū）出集成濕度傳感器

　　典（diǎn）型（xíng）產品為HF3223型（xíng）。它采用模塊式結構，屬於（yú）頻率（lǜ）輸出式（shì）集成濕度傳感器，在55%RH時的輸出頻率為8750Hz（型（xíng）值），當上（shàng）對濕度從（cóng）10%變化（huà）到95%時，輸出頻率就從9560Hz減小到8030Hz。這種傳感器具（jù）有（yǒu）線性度好、抗幹擾能力強、便於配數（shù）字（zì）電（diàn）路或單片機、價格低等優點。

　　2.3 頻率/溫度（dù）輸出式集成濕度傳感器
　　典型產品為（wéi）HTF3223型。它除具有HF3223的功能以外，還增加了溫度信號（hào）輸出端（duān），利用負溫度係數（NTC）熱敏電阻作（zuò）為（wéi）溫度傳感器。當（dāng）環境（jìng）溫度（dù）變化時，其（qí）電阻值也相應改變並且從NTC端引出（chū），配上（shàng）二次儀表即可測量出溫度值。