安捷倫科技日前宣布，推出（chū）基於Windows?的（de）半導體器件分析（xī）儀，把電容對電壓測量(CV)及電流對電壓測量(IV)集成到一台儀器中，使半導體測試工程師節約（yuē）了時間，提高了生產效率。安捷倫B1500A為參（cān）數測試（shì）和分析提供了完整的可單機、可擴展解決（jué）方案，能（néng）夠處理65 納米(nm)及更小光刻工藝技術。模塊化儀器采（cǎi）用10插槽配置，支持安捷倫新（xīn）推（tuī）出的EasyEXPERT軟件，提供了一個完整的器（qì）件檢定方法。 對處理當前半導（dǎo）體工藝技術的工程師和科學家來說，半（bàn）導體器件檢定是一項複雜的工作。搭配基於Windows的圖形用戶界麵，即使對參數測量儀器經（jīng）驗不足的新工程師，也可以輕鬆（sōng）使用。 “采用EasyEXPERT軟件的安（ān）捷倫B1500A把每個用戶變成了參（cān）數（shù）測試專家。”安捷倫Hachioji半導（dǎo）體測試分部副總裁（cái）兼總經理Minoru Ebihara說，“一般半導體（tǐ）測試儀器要求EasyEXPERT知道每種硬件功能，並要（yào）求多種設置才能進行測量（liàng）。B1500A為用（yòng）戶立即提供了高效的生產能力，使投資回報達到最大。” 新的EasyEXPERT軟件提供了一個器件（jiàn）應（yīng）用測試程序（xù）庫，用戶可以根據要求的測量類型進行（háng）選擇。在進行幾個簡單的設（shè）置之後，如確認工藝（yì）類型（xíng），及選（xuǎn）擇適當的器件類型，軟件便會選擇相應的設置，進行測量，分（fèn）析數據，以圖形方式顯（xiǎn）示分析結果。通過使（shǐ）用基於Windows的EasyEXPERT軟件，即使是新手也（yě）可以在B1500A開機幾分鍾後進行高效測量。 當檢定（dìng）同時（shí）要求進行IV和CV測量（liàng）時（shí），工程師麵臨（lín）著額外的挑戰。然而大多數儀器隻是為一種測量（liàng）設計（jì）的，這意味著必（bì）須透過兩（liǎng）個接口連接（jiē）兩（liǎng）種不同的儀器來進行測量。必需把電容測量（liàng）單元(CMU)的連接線正確連接到（dào）被測（cè）器件(DUT)上，並精確補償電纜（lǎn）長度，以保證精確的CV測量結果。此外，CMU采用BNC連接器，而電源（yuán）測量單元(SMU)采用三軸連（lián）接器。在這些不兼容的連接器之（zhī）間切換可（kě）能會非常（cháng）困難、麻煩，特別是與芯片探針台（tái）上搭配使用時。 安捷倫B1500A提（tí）供了高度靈活性，幫助降低測試成本。其10插槽配置支持三種SMU類型： o 高分辨率SMU (HRSMU) o 中（zhōng）等功率SMU (MPSMU) o 高功率SMU (HPSMU) 安捷（jié）倫還提供一個（gè）多頻率電容測量單元(MFCMU)，B1500A主機（jī）內建（jiàn）4.2 A接地單（dān）元（yuán）(GNDU)。 除把CV測量集成到器件分析儀（yí）主機外，MFCMU比類似的外部（bù）電容儀表提供更（gèng）多的測量功能。它可（kě）以以高達（dá）5 MHz的頻率測量電（diàn）容，提供了（le）正負25 V的DC偏（piān）置。此外，在同一部儀器中把MFCMU和SMU結合起（qǐ）來，使得（dé）這些測量資源能夠更加緊密地（dì）結合在一起。在結合使用B1500A SMU CMU合一單（dān）元(SCUU)時，MFCMU和（hé）SMU組合支持正（zhèng）負100 V的 DC偏置的電容測（cè）量（liàng）。 B1500A SCUU為把兩部SMU和MFCMU連接起來、並在這些不同測量資源之間切換提供了一種方便智能的方式，而不需使用單獨的外部開關矩陣儀器。B1500A軟件（jiàn）處理所（suǒ）有IV-CV測量切（qiē）換、補償和返回路徑狀態。為（wéi）著手（shǒu）進行精確測量，用戶隻需（xū）選擇IV或CV算法，然後按一個鍵即可。如需更多信息（xī），請訪問（wèn）網址：www.agilent.com/see/parametric。 量身訂（dìng）做的測量解決方案幫助測試工程師隻要購買所需的（de）功能，來幫助降低測試成本，並且預留發展（zhǎn）空間應付需求變化。由本身（shēn）具備的（de）低電流、低電壓和補償電容測量功能，安捷倫B1500A可以用於半導體器件和新（xīn）興材料的（de）各種檢定需求，包括采用納米工藝技術的（de）器件。 B1500A的自動傳感和開關（guān）單元(ASU)，提（tí）供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量測例如MOSFET Idoff和存儲單元漏電檢定等測（cè）量。工程師可（kě）以簡便地透過（guò）ASU所（suǒ）連接到的（de）高分辨率SMU和CMU時，作高精度IV和補（bǔ）償CV測量之間的切換（huàn）。