傳感器和儀表元器件是儀器儀表（biǎo）與自動化係統最基礎元器件（jiàn）之一。傳感器和儀表元器件具有服（fú）務麵廣、品種繁多、需求量（liàng）大等特點，其技術水平和產品質量的（de）提高，將為我國製造（zào）業信息化奠定基礎。 現狀與問題 我國傳感器和儀器儀表的（de）技術和產（chǎn）品，經過發（fā）展（zhǎn），有了較大的提高。全國已經（jīng）有（yǒu）1600多家企事（shì）業（yè）單位從事傳感器和儀表元器件的研製、開發、生產。但與國外相比，我國傳感器和儀表元器件的產品品（pǐn）種和質量水平，尚不（bú）能滿足國（guó）內市場的需求，總體水平還處於國外上（shàng）世紀90年代初期（qī）的水平。存在的主要問題有（yǒu）： (1)科技創新差，核心製造技術嚴重滯後於國外，擁有自主知識產權的（de）產品少，品種不全，產品技術水（shuǐ）平與（yǔ）國外相差15年（nián）左右。 (2)投資強度偏低，科研設備和生產工藝裝備落後，成果（guǒ）水平低，產（chǎn）品質量差。 (3)科技與生產脫節，影響科研成果的轉化，綜合實力較低，產業發展後勁不足。 戰略（luè）目標 到2020年，傳感器及儀表元件領域應爭取實（shí）現三（sān）大戰略目標（biāo）： ??以工業（yè）控製、汽車、通訊、環（huán）保為重點服務領域，以傳感（gǎn）器、彈性元件、光學（xué）元件（jiàn）、專用電路為重點對象，發展（zhǎn）具有自主知識產權的原創性技術和產品； ??以MEMS工藝（yì）為基礎，以集成化、智能化和網絡化技術為依托，加強製造工藝和新型傳感器和儀表元器件的開發，使主導產品達到和接近國外同類產品的先進水平； ??以增加（jiā）品種（zhǒng）、提高質量（liàng）和經濟效益為主要目標，加速產業化，使國產傳感器（qì）和（hé）儀（yí）表元器件的品種占有率達到70%~80%，高檔產品達60%以上。 發展重點 傳感器技術 (1)MEMS工藝和新一代固態（tài）傳感器微結構製造（zào）工（gōng）藝：深反應離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝；封裝工藝：如常溫鍵合倒裝（zhuāng）焊接、無應力微薄結構封裝、多芯片組裝工藝；新型傳感器：如用微矽電容傳感器、微矽質量流（liú）量（liàng）傳感器、航（háng）空航（háng）天用動態傳感（gǎn）器、微傳感器，汽車專用壓力、加速度傳感器，環保用微化學傳感器等。 (2)集成工藝和多變（biàn）量複合傳感器（qì）微結構集成製造工藝；工業控製用多變量複合傳感器，如：壓（yā）力、靜壓、溫（wēn）度三變量（liàng）傳感器，氣壓、風力、溫度、濕（shī）度四變量傳感器，微矽複合應變壓力傳感器，陳列傳感器。 (3)智能（néng）化技術與智能傳感器信號有線或無（wú）線探（tàn）測、變（biàn）換處理、邏輯判斷、功能計算、雙向（xiàng）通訊、自診斷等智能化技術；智能多變量傳感器，智能電量傳感器和各種智能傳感器、變送器。 (4)網（wǎng）絡化技術和網絡化傳感器傳感（gǎn）器網絡化技術（shù）；網絡化傳感器，使傳感器具有工業（yè）化標（biāo）準接（jiē）口和協（xié）議功（gōng）能（néng）。 儀表元器件 (1)彈性元件（jiàn）開發和完善新型（xíng）成型（xíng）工藝：電（diàn）沉（chén）積成型工藝（yì），焊接成型工藝；重點（diǎn）開發航空、航天用的低剛度、大位移、長壽命（mìng）的微小型精密波紋管，高溫（wēn）高壓閥（fá）用波紋管；研製波紋管高效成型工藝設備和性能檢測儀器。 (2)光學元件開發先進工藝：非球麵光學元件設計、製造技術、光學多層測（cè）射鍍膜技術和新型離子（zǐ）輔助鍍（dù）膜技術。 開發光纖通訊和數字成像用新型光學元件，如：微型變密度濾光（guāng）片、超窄（zhǎi）帶濾光片，微透鏡陣列、大麵積偏振元件、非球麵玻-塑混合透鏡。 (3)專用電路提高專用電路集成（chéng）度和個性化服務的設（shè）計技（jì）術和製造工藝； 應用軟件固（gù）化技術，開發適合智能化、網（wǎng）絡化（huà）傳感器和儀表的信號變（biàn）換、補償、線（xiàn）性化、通訊、網絡（luò）接口等專用電路。