歐洲計量創新與研（yán）究計劃（huá）（EMPIR）的項目“製造3D堆疊集成電路的計量”及其後續項目“可溯源的三維納米計量學”研發出了全球最快的計量原子力（lì）顯微鏡。

原子力顯（xiǎn）微鏡是（shì）一種超高分辨率的掃描（miáo）探（tàn）針顯微鏡，能夠測定亞納米或微米級的樣品表麵特征。

該項目研發的顯微鏡由一個末端有尖探針的懸（xuán）臂組成，能夠“感覺到”或接觸到標本的表麵結（jié）構，就像唱機上（shàng）的唱針沿著膠片凹槽旋轉，並“播放”編（biān）碼在槽線中的音樂。

這種顯微鏡具有範圍廣、快速和準確的測量能力，可實現高達1 mm / s的掃描速度，可測量25 mm x 25 mm x 5 mm的體積（jī），相當於其（qí）它原子力（lì）顯微鏡（jìng）掃描速度的50倍，且測量不確定度低至（zhì）亞納米級。

參與研發的德國（guó）聯邦物理技術研究院（PTB） 3D納米計量工作組（zǔ）負（fù）責人認為（wéi）：該原子（zǐ）力顯微鏡能夠對應用（yòng）於半導體、納米光學、納米材料、生物科學等各個行業的複雜納米結構進行（háng）完整掃描。該項目成果極大地擴展了傳統原子力顯微鏡技術的性能，使其範圍（wéi）更廣，準確性更（gèng）高，速度更快，為（wéi）應對工業挑戰提供了獨特的計量解決方案。

該項目成果已發表在《測量與科學技術》雜誌（zhì）上。

圖：半導體行業中使用的電路板