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科學家研製出可自我校準的微機電係統

發布時間:2010-08-19 作者(zhě): 來(lái)源: 瀏覽:337768

      微機電係統在(zài)未來的(de)高科技領(lǐng)域有很大的應用(yòng)潛力,但目前它們也(yě)有一個難以克服的缺(quē)陷,那就是計量結果不夠精確(què),彼此之間存在(zài)偏差。據《大眾科學》雜誌網站8月10日報道,美國普渡(dù)大學的研究(jiū)人員現已找到了一種方法,可以讓微(wēi)機電係統進行自我校準,這一研究成果有望打開研發各類超高精度(dù)的傳感器和設備的大門,可在醫學、工程以及國防領域發揮作用。
  微機電係統的尺(chǐ)寸不到一納米,在如此微小的尺度上製造這種設備難(nán)免會存在誤差,要保證(zhèng)生產出的微機電係(xì)統完(wán)全一致是不太可能的。既然沒(méi)有可靠的方法來製造兩(liǎng)個一模一樣(yàng)的微機(jī)電係(xì)統,就必須采用一些校(xiào)準(zhǔn)手段來盡量避免或者減(jiǎn)小它們在計量時彼此之間(jiān)的誤差。然而,要想在這種(zhǒng)微觀尺度上進行距離或者力的測量同樣非(fēi)常困難,因此,到目前為止,還沒有確定一套標準來校準兩(liǎng)個微機電係統的功能,以使它們的性能和計量方式完全一樣。
  而普渡大學開發的(de)這項被稱為微電計(jì)量的新技術,可幫助工程師確定施加於微機電(diàn)係統器件上的力的大小。微電計量技術通過測量微機電係統的電子特性來定義(yì)其機械特(tè)性,因為在這樣(yàng)的微觀尺度上,電子特性比物理力更易測量。一旦獲得了微機電係統器件的電容數據,研究人員就能精確計算出其形狀、硬度和受(shòu)力大小。
  更準確地說,可自我(wǒ)校準的微機電係統意味著(zhe)性(xìng)能更優、更便宜的原子力顯微鏡,能夠開展更有(yǒu)效的(de)生物技術和(hé)納米技術研究的高(gāo)功率實驗室工具,可嗅探出(chū)化學威脅的超靈敏傳感器,甚至可用於追蹤或確定犯罪嫌疑人的超靈敏“芯片鼻”。 


 

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