美國國家標準和技術研究院（NIST）的研（yán）究人員（yuán）正在檢（jiǎn）測最新（xīn）的顯微鏡技術。該技術能夠進一步提高（gāo）納米級物體測量的精確度，而更精確的納米（mǐ）級測量對（duì）半導體和（hé）納（nà）米製造業確定（dìng）標準和改進產品具有十分重要的（de）意義（yì）。
　　新顯微鏡技術用氦離子產生的信號波幫助微小物體成像，此技術十分類似於上世紀60年代開始商業應用的掃描電子（zǐ）顯微鏡（SEM）。不過，讓人感到（dào）反常的是，雖（suī）然氦離子體積和質量比電子大許多，但卻能幫助人們獲得對比度更高、分辨率更（gèng）強的微小物體成像。此外，由於（yú）該新技術具有更理想的景深，因而物體成像的清晰範圍更大。

　　NIST納米（mǐ）級（jí）測量（liàng）組（zǔ）掃描電子顯微鏡項目負責人（rén）安德拉斯?弗拉達表示，上述現象（xiàng）屬於物理學範疇，離子比電（diàn）子的質量大、波長短，因而能（néng）幫助人（rén）們獲得更佳的成像（xiàng）。他說，采用（yòng）了新（xīn）技術的顯微鏡（jìng）獲得的成像看上去有立體感，清晰地（dì）顯示了小於1納米物體的細節。在矽晶體中，1納米（mǐ）僅橫跨3個原子。

　　目前，NIST研究人員正在深入了解新（xīn）技術的成像機理。相比掃描電子顯微鏡，氦離子顯微鏡最顯著的優勢是成像能顯示物體邊緣的（de）實際情況，這對精密製（zhì）造業而言十分重要。NIST精密工程（chéng）處主任及納米製造項目（mù）經理邁克爾?伯斯特克解釋說，在高技術製造領（lǐng）域，通過物體的邊緣了解重要的物（wù）體尺寸大小意味著每產生1個工件將節約數百美元的成本。現在，半導體生產商在其生產線上安裝了價（jià）值數百萬美元的掃描電子顯微鏡（jìng），幫助控製微芯片生產過程。

　　作為合作研究和開發協議的一部分，NIST去年夏（xià）天從卡爾蔡司公司引進（jìn）了名為“獵戶星座”（Orion）的首台（tái）商業化氦離子顯微鏡。

　　NIST的（de）貢獻之（zhī）一是弗拉達開發的“快（kuài）速成像”法，該方法使用靈巧的計（jì）算算法，讓（ràng）顯微鏡能盡可能（néng）快地獲取物體圖像，並（bìng）將圖像合並，降低成像的模糊性，從而生成更清晰、更銳利的成像（xiàng）。卡爾蔡司公司（sī）最近（jìn）首（shǒu）次（cì）推出了“獵戶星座”的替代產品“獵戶（hù）星座+”，該產品在設計中融合了NIST提出的多項建議，包括為氦（hài）離子源改進冷卻係統以改善成像水平。