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橫(héng)河電(diàn)機光譜分析儀 用於2μm激光器製造

發布時間:2007-12-04 作者: 來源: 瀏覽:958

      橫河電機推出了用於2μm近紅外線半導體激光器的開發生產的光譜分析儀。可對1200nm~2400nm的光(guāng)進行最小(xiǎo)感光靈敏度為-70dBm的測量(liàng)。產品名稱為“AQ6375”。2μm近紅外線半導體激光器在用於檢測空氣中的溫室氣體等微量氣體方麵需求(qiú)越來越(yuè)大,此前(qián)該用途的(de)激光器的開發生產中一般使用分光器來確(què)認(rèn)特性。該公司將光通信測量儀技術應用(yòng)於(yú)長波長光的測量,實現(xiàn)了使用分(fèn)光器不可能實(shí)現的靈敏(mǐn)度及分辨率的提高和檢測時間的縮短(duǎn)。  

  產品的開(kāi)發和生產中環保(bǎo)措施日趨重要、必須檢(jiǎn)測CO2等溫(wēn)室(shì)效應(yīng)氣體及SO2、NO2等破壞環境氣體的場合越來越多。因此,橫河電機(jī)一直(zhí)在推進正確(què)檢測空氣(qì)中微量氣體的方法??激光吸收分(fèn)光法的開發。當光線入射到在空氣中時,不同的氣體分子吸收不同頻率的(de)激光。激光吸收分光法是通過測定激光(頻率與被檢測氣體的頻率相對應)被吸(xī)收的(de)程度來檢測氣體濃度的技術。正確的檢測必須采用在特定頻率之外沒有高強度峰值的高質量2μm頻帶的近紅外線半導體激光器。若存在不必要的峰值,就會產生影響精度的噪音。  

  過去,該用途激光器的(de)開發生產使用分光器,沒有(yǒu)多餘的峰值。但是存在可測定強度(dù)的動態範圍小、測定分辨率(lǜ)低等問題,無法充分地對高質量激光(guāng)器進行測定。例如,分光器最小感(gǎn)光靈(líng)敏度較低,僅為-40~-50dBm,因此檢測不出(chū)造成噪音的多餘的峰值。此次(cì)的產品采用(yòng)了用於通信用可視光激(jī)光器(qì)開發的光(guāng)譜分析儀技術,實現了-70dBm的感光靈敏度。  

  此外,使用分光器時的波(bō)長分辨率(lǜ)約為0.5nm,頻率軸的精度也不(bú)高。AQ6375先通過衍射光柵使分光後(hòu)的光反射回來,再通過(guò)衍射光柵將分辨(biàn)率提高(gāo)到最小0.05nm。另(lìng)外,在0.1μm的波長測定範圍內,使用分光器時(shí)需要數分鍾到數十分(fèn)鍾的測測量(liàng),利用新光譜分析儀在1秒以下,即使難測量的情況也能實現在1分鍾以內完成測量。  

  橫河電(diàn)機將從07年11月15日開始供應AQ6375。價格為920萬(wàn)日元起。此外,還將在07年11月7日在(zài)東京BigSight國際會展中心開幕的“計測展2007東(dōng)京”展會上展出該產品。  
  
 

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