島津製作所將推出測試材料表麵硬度計 (2006-07-17)
發布時間:2007-12-04
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島津製作所(suǒ)將推出硬度計“DUH-211/211S”。主要麵向蒸鍍膜和半導體材料等薄膜、表(biǎo)麵處理層、塑料、橡膠、金屬和陶瓷等脆(cuì)性材料(liào)及(jí)微型電子元件等領(lǐng)域。封裝壓痕硬度標準“ISO14577-1”規定,通過測(cè)量試料的壓痕深度來測定硬(yìng)度的同時,還要對彈性率、工(gōng)作負荷、蠕變特性進行測試。DUH-211則能(néng)夠完成相應的測試任務。
材料表麵的硬度測試通常使(shǐ)用維(wéi)氏(shì)硬度(dù)或努氏硬度試驗法。但是(shì)在這些試驗法中使用98m~9.8N的(de)力,在對薄(báo)膜和表麵處理層硬度(dù)進行測(cè)試時,由於力量太大,有時會對薄膜和表麵層刺穿了。另外,由於凹陷較小,因此如果按老方法利用顯微鏡進行測試,凹陷邊界不清楚(chǔ),誤差容(róng)易變大。
而該公司包括DUH-211在(zài)內的微型硬度(dù)計(jì),是根據壓頭壓痕力與試料侵(qīn)入(rù)量之間的關係來計算硬度。由於不需(xū)利用顯微鏡測量凹陷的大小(xiǎo),因此容易實現自動化。由於能夠測量納米級的深度(dù),因此還可支持更薄的薄(báo)膜。另外,DUH-211通過對壓痕試驗所需的試驗儀器(qì)進行剛性補償,以及對壓頭頂端進(jìn)行形狀補償,進一(yī)步提高了變位穩定性。
該硬度計可在(zài)0.1~1961mN之間設置試驗力,範圍較大。最小可以0.2μm為單(dān)位控製試驗力。因此,可用於各種材料的硬度測試。壓頭的壓入深度(dù)在0.0001μm的分(fèn)辨率下最大可設定(dìng)10μm。
同時該產品還標準配備了讀取凹陷長度的功能,因(yīn)此(cǐ)隻要作為(wéi)選配項追加一個套件,就可測試維氏硬度。另外,除負荷試驗外,“DUH-211S”還可根據不同的目的進行包括除(chú)負荷試驗、重複試驗、深度設置試驗、步進式負(fù)荷試驗等7種試驗。