ABB計劃推出傅立葉變換式紅外（wài）線分光（guāng）儀－WPA，通過對藥液進行實時監測，不僅能夠提高最終產品的質量與成品率，同時還能減少藥（yào）液的用量和廢棄量。 WPA是一（yī）種傅立葉變換式紅（hóng）外線分光儀，利用光纖連接（jiē）用於半（bàn）導體製造工藝的檢測單（dān）元“ClippIR+”。在不發生汙染（rǎn）的非接觸狀態下（xià），最多可對8個測量點進行管理。測（cè）量對（duì）象達30多種，包括氫（qīng）氧化銨（NH4OH）、過氧水（H2O2），鹽酸（HCL）、氫氧化鉀（KOH）、氟化銨（ǎn）（NH4F）、氟化氫（HF）和醋酸（Acetic Acid）等。不論溶液中是什麽成分，每個（gè）測量點隻需51秒即可完成測量。 由於能夠將分析係統本身安裝在離測量點最遠為100m的（de）位置，因（yīn）此能夠在（zài）沒有（yǒu）藥液的空氣（qì）環境中進行管理，還可與控製係統結合（hé）使用（yòng）。由於ClippIR+尺寸很小，因此不（bú）需（xū）改造生產線（xiàn）即可配置。而且采用了含氟（fú）樹（shù）脂加工，耐腐蝕。此外，還安裝了用（yòng）於濕式工（gōng）藝的管（guǎn）理與控製（zhì）專用軟件。該軟件除顯示各測量點藥液成分、濃度和（hé）趨勢，保存數據等功（gōng）能外，還具有一旦（dàn）相關數據（jù）超過容許範圍（wéi）就會報（bào）警的功能。