ABB計劃推出傅立葉變換式紅外線（xiàn）分光儀－WPA，通過對藥液進行（háng）實時監測，不（bú）僅能（néng）夠提高最終產品的質量與成品率，同（tóng）時還能減少藥液的用量和廢（fèi）棄量。 WPA是一種傅立葉（yè）變換式紅外線分光（guāng）儀，利用光纖連接用於半導體製造工藝的檢測單元“ClippIR+”。在不發（fā）生汙染（rǎn）的非（fēi）接觸狀態下，最多（duō）可對8個測量點進行（háng）管（guǎn）理。測量對象達30多種，包括氫氧化銨（NH4OH）、過氧水（H2O2），鹽酸（HCL）、氫氧化（huà）鉀（KOH）、氟化銨（NH4F）、氟化氫（HF）和醋酸（Acetic Acid）等。不論溶液中是什麽成（chéng）分，每個測量點隻需51秒即可完成測量。 由（yóu）於能夠將分（fèn）析係統本（běn）身安裝在離測量點最遠為100m的位置，因此能夠在沒有藥液的空（kōng）氣環境中進行（háng）管理（lǐ），還可與控製係統結合使用。由於ClippIR+尺寸很小，因（yīn）此不需改造生產（chǎn）線即可配置。而且采用了含氟樹脂加工，耐腐蝕。此外，還安裝了用於濕式工藝的管理與控製專用軟（ruǎn）件。該（gāi）軟件除顯示各測量點藥液成分、濃（nóng）度和趨勢，保存數據等功能外，還具（jù）有一（yī）旦（dàn）相關數據超（chāo）過容許範圍就會報警的功能。