5月19日，美國熱電集團向外界宣布，該公（gōng）司全新一款X射線探測器問（wèn）世。該產品可配置在熱電集團的MicroXRT係列微束（shù）X熒光分析係統上（shàng），對於半導體及微（wēi）電子行（háng）業的（de）薄膜分析，該探測器有（yǒu）著（zhe）其他產品無可比擬的性能優勢。 微束X射線熒光（guāng）分析係統采用了能量色散X熒（yíng）光光譜和（hé）聚焦光路技術，是一種（zhǒng）對於金屬（shǔ）薄膜（mó）進行分（fèn）析的理想工具。而熱電集團此次（cì）發布（bù）的全新固態X射線探測器將極大地擴展係統的使用靈活性，該技術（shù）將不（bú）再（zài）需要液氮冷卻，維護更方便（biàn），可快速啟停（tíng）。 對於薄膜（mó）分析領域，熱電的（de）固態Si(Li) 探測（cè）器具有非常高的分辨（biàn）率和靈敏度（dù）。同時，由於Si(Li)探測器（qì）的（de）能量範圍上限可（kě）達29 keV，因而可以（yǐ）對（duì）更重的（de）元素（sù）進行檢測。而10mm的（de）有效檢測器區域，使得（dé）Si(Li)探測器具有（yǒu）更窄的幾（jǐ）何角度以及大取樣角，從而大大改善（shàn）了對於痕量元（yuán）素的檢出限。 作為（wéi）一項相對而言較新的技術，熱電集團（tuán）的（de）固態矽漂移探（tàn）測器（qì）對於那些要求有高（gāo）計數率或是高通量的應用領域尤為理想（xiǎng）。它可以提供更短的分析時間，更出色（sè）的精確度（dù），並且計數率（lǜ）統計速度較之以往提高了十倍。 在一些對於分辨率和靈敏度有著苛刻要（yào）求的分析領域，熱電（diàn）集（jí）團還可以提供一項該公司的專利技術??真空導管技（jì）術（shù）（Vacuum ConduitT），作為微束X射線熒光分析係統的選件。這項技術將使X射線束產生與檢測通道處於真空狀態而無（wú）需再對樣（yàng）品室抽真（zhēn）空，樣品可（kě）直接暴露在大氣（qì）環境下。